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mg游戏平台首页光伏离子注入机已开发出四代系列产品。

Ion Solar™, 第一代光伏离子注入设备（2011~2014）

具有质量分析，采用金属托盘传送，能量5-15KeV, 均匀性<5cm²/ma 产能800-1500WPH。

iPV-2000第二代光伏离子注入设备（2014~2017)

略去质量分析，采用皮带水平传送硅片，避免硅片在载盘传送中的摩擦损伤。采用固态磷代替磷烷，降低客户成本，能量5-15KeV, 均匀性<5cm²/ma，产能1700~2000WPH。

iPV-3000第三代光伏离子注入设备（2017~)

皮带水平传送硅片,兼容固态磷和磷烷系统离子源，改进的大束流离子源，双源结构，可应用于多种使用场景。束流提升40%增加图案化注入掺杂功能，，能量5-15KeV, 均匀性<4cm²/ma，产能>3000WPH。

iPV-6000第四代光伏离子注入设备（2019~）

2019年上市，除了具备iPV-3000的特性外，优化了真空系统效率和传送稳定性，提升了离子源引出束流密度，是目前市场上极高产能的光伏离子注入机设备。iPV-6000沿用IPV-3000的双源系统，并可兼容磷烷和固态磷作为掺杂源。能量5-15KeV, 均匀性<4cm²/ma，产能6000WPH。